真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對容器進行抽氣，以獲得和維持低于大氣壓的負壓狀態(tài)的設(shè)備。

       下面是常見的4種真空泵的工作原理

1. 水環(huán)式真空泵：水環(huán)式真空泵的葉片偏心地裝在圓柱形泵殼內(nèi)，泵內(nèi)注入一定量的水。葉輪旋轉(zhuǎn)時，將水甩至泵殼形成一個水環(huán)，環(huán)的內(nèi)表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半輪轂與水環(huán)間的進氣空間逐漸擴大，形成真空，使氣體經(jīng)進氣管進入泵內(nèi)進氣空間。隨后氣體進入左半部，由于轂環(huán)之間容積被逐漸壓縮而增高了壓強，于是氣體經(jīng)排氣空間及排氣管被排至泵外。
2. 旋片式真空泵：旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325~1.33×10-2（pa），屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵的工作原理是電機旋轉(zhuǎn)運動通過機械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運動，從而壓縮、拉伸泵腔內(nèi)的空氣形成真空，在抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體吸入泵腔，再從排氣口排出。

3. 隔膜真空泵：隔膜式泵利用特殊設(shè)計加工的柔性隔膜取代活塞，在驅(qū)動機構(gòu)作用下實現(xiàn)往復(fù)運動，從而壓縮、拉伸泵腔內(nèi)的空氣形成真空，在抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體吸入泵腔，再從排氣口排出。

      無油真空泵的工作原理主要是以下2種：

（1）通過容積變化實現(xiàn)抽氣過程。無油真空泵的泵體內(nèi)有一個可以活動的機械部件，工作時，這個部件會不斷改變泵的容積。當容積變大時，泵體內(nèi)的氣體被吸入；當容積變小時，吸入的氣體被壓縮并從出口處排出。

（2）通過高速旋轉(zhuǎn)的葉片或旋片實現(xiàn)抽氣過程。無油真空泵的葉片或旋片高速旋轉(zhuǎn)時，會帶動泵內(nèi)的氣體一起旋轉(zhuǎn)，在離心力的作用下，將氣體從泵的入口處甩到出口處，從而實現(xiàn)氣體的抽取與排出。

      真空泵還有其他不同的種類，如往復(fù)式真空泵、羅茨真空泵、油擴散泵等，每種類型的工作原理和特點都不同。